Aspectos teóricos y modelado computacional de las transformaciones morfológicas de micro/nano-estructuras sometidas a tratamientos térmicos

Cecilia Sottile; Matías Rafti; Federico Castez

Cecilia Sottile Instituto de Investigaciones Fisicoquímicas Teóricas y Aplicadas (INIFTA), (CCT La Plata CONICET- UNLP), Diag. 113 y 64, 1900, La Plata, Argentina.
Matías Rafti Instituto de Investigaciones Fisicoquímicas Teóricas y Aplicadas (INIFTA), (CCT La Plata CONICET- UNLP), Diag. 113 y 64, 1900, La Plata, Argentina.
Federico Castez 1 Instituto de Investigaciones Fisicoquímicas Teóricas y Aplicadas (INIFTA), (CCT La Plata CONICET- UNLP), Diag. 113 y 64, 1900, La Plata, Argentina. 2 Actualmente en YPF-Tecnología

Palabras clave: Difusión Superficial, Altas razones de aspecto

Resumen

El proceso de transporte de materia por difusión superficial tomó gran importancia en los ultimos años, ya que se pueden encontrar numerables aplicaciones, tanto en estructuras de bajas como de altas razones de aspecto, siendo estas últimas de gran interes. En este trabajo estudiamos la Ecuación de Mullins que describe la evolución de la interfaz de una muestra sólida, tratada como un medio continuo, por corrientes de difusión superficial. Mediante simulaciones computacionales, integramos numéricamente dicha ecuación y comparamos los resultados obtenidos con los existentes en la literatura.

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Citas

M. Lee, C. Wu. “Thermal Annealing in Hydrogen for 3-D Profile Transformation on Silicon-on-Insulator and Sidewall Roughness Reduction”. J. Microelectromechanical Syst. 15, 2006, 15,. 338-343.

I. Mizushima, T. Sato, S. Taniguchi, Y. Tsunashima.”Empty-space-in-silicon technique for fabricating a silicon-on-nothing structure". Appl. Phys. Lett. 77, 2000. 3290-3292.

W. W. Mullins, “Theory of Thermal Grooving”, J. Appl. Phys., 28, 1956, 333-339.

M. F Castez. “Surface-diffusion-driven decay of patterns: beyond the small slopes approximation”. J. Phys.: Condens. Matter., 22, 2010, 345007.

M. A. Madrid, R. C. Salvarezza, M. F. Castez. “Surface-diffusion-driven decay of high-aspect-ratio gratings: Existence of morphologically related classes”. Phys. Rev., 87, 2013, 062407.